Willkommen bei Mikropack
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Dünnschicht Messtechnik
Mikropack ist Hersteller von UV/VIS/NIR Reflektometern, spektroskopischen Ellipsometern, sowie Plasma Monitoring und Prozess Kontroll Systemen basierend auf der Optischen Emmissions Spektroskopie (OES).

  Thin Film Metrology
Mikropack manufactures UV/VIS/NIR Reflectometers, spectroscopic Ellipsometers as well as Optical Emmission Spectroscopy (OES) Plasma Monitoring and Plasma Process Control Systems.



Spektroskopie
Faseroptik Spektrometer Lichtquellen und   Zubehör
Analytic
Analysegeräte basierend auf der faseroptischen Spektroskopie
Biotech
Materialien und Geräte für die Bio-Technologie

Spectroscopy
Fiber Optic Spectrometer, Light Sources and Accessories
Analytic
Analytic Equipment based on fiber optic spectroscopy
Biotech
Materials and Equipment for Bio Technologies

Ellipsometer Ellipsometry Measurement transparent films Measuring transparent films Layer thickness spectroscopic ellipsometry Thin Film Thin Film Measurement Thinfilm Thickness Measurement Thin Film Monitori Process Monitoring Thin Film metrology Thinfilm metrology S.E. Film Thickness Measurement Film Thickness Measurement System Film Thickness film thickness Mikropack NanoCalc nanocalc Reflectometer Reflectometry Resist Measurement Resist Thickness SiO2 Measurement Specel SpecEl Thin Film Thickness Measurement System White Light Interference Spectral ellipsometry Spectral Ellipsometer Reference standard Thickness reference standard Step wafer SIO2 reference wafer Refractive index Absorption Online Measurement Insitu Measurement Transparent film measurement Optical thin film measurement Coating metrology Reflektometer Schichtdickenmessung Schichtdickenmeßtechnik Messung transparenter Schichten Brechungsindex Messung ellipsometrische Schichtdickenmessung Spektroskopische Schichtdickenmessung Fotolack Dickenmessung Lackdickenmessung  Weißlichtinterferenz Schichtdickenmessung Weißlichtinterferenz Dickenmessung Schichtdicken Prozeßkontrolle Plasma OES Optische Emissions Spektroskopie Spektroskopie Plasmadiagnostik Plasma Diagnostik Plasmamonitoring Endpunktdetektion Prozeßsteuerung Spektrenanalyse Monitorsysteme Prozeßkontrollsysteme Plasmamodellierung Spectroscopy Optical emission spectroscopy Plasma diagnostic Plasma Monitoring Endpoint Detection Process Control Spectral Analysis Monitor Systems Process Control Systems Plasma Modeling Specline